химическое осаждение из паровой фазы с плазмой высокой плотности

 

химическое осаждение из паровой фазы с плазмой высокой плотности
—
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

• полупроводниковые приборы

EN

• HDPCVD